電磁閥膜片為圓形膜狀的彈性敏感元件。當(dāng)膜片的兩面受到不同的壓力（或力）的作用時，膜片向壓力低的一面應(yīng)變移動，使其中心產(chǎn)生與壓力差成相對關(guān)系的位移。膜片的形式主要有平膜片、垂鏈?zhǔn)侥て筒y膜片三種。平膜片又可按周邊是否固定支撐、中心是否開孔以及膜片區(qū)域受力分布狀況的不同等分為多種形式，其中較常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構(gòu)成的平膜片。垂鏈?zhǔn)侥て煽拷吘壧庨_槽的圓板構(gòu)成，其彈性應(yīng)變主要發(fā)生在邊緣環(huán)形槽處，常用這種膜片壓縮應(yīng)變管或柱來達(dá)到測壓目的。垂鏈?zhǔn)侥て挠仓行牟糠衷谑軌阂苿訒r接近平移，因此用于電容式傳感器或壓電式傳感器效果較好。波紋膜片壓有環(huán)狀同心波紋。為了增加膜片中心的位移可把兩個膜片焊在一起制成膜盒或進(jìn)一步把數(shù)個膜盒串接成膜盒組。